柔性热膜微传感器 (响应快,精细测量微传感器)

关键技术和创新点: 柔性热膜微传感器是采用柔性聚合物膜作为基底,借助热敏薄膜沉积、光刻及微图形结构成型、热处理等微机电系统(MEMS)工艺技术制作成的一类新型热敏传感器。热处理工艺是我们特有的加工工艺。 相对常规热敏传感器而言,柔性热膜微传感器有4个独特优点: 1.柔性聚合物衬底隔热,灵敏度高、响应极快,时间常数达毫秒量级; 2.厚度薄,在100微米以内,对被测环境与结构无干扰破坏; 3.适应性强:异型结构、曲面、潮湿、水下、腐蚀等复杂恶劣环境; 4.方便多点式分布测量。 柔性热膜微传感器是典型的军民两用新型基础核心元器件。柔性热膜微传感器可以快速精密测温。其可以广泛的应用在汽车工业,电子工业,家电工业以及医药卫生等方面,用作温度测量,超温预警。 此外,柔性热膜微传感器也是测量分析流场变化及边界层状态、测量流体壁面剪应力(摩阻应力)、测量热流量等的重要基础元器件,用途非常广泛。在航空航天先进测试领域有非常重要而紧迫的应用需求。 柔性热膜微传感器涉及微机电加工、封装、微小信号检测、精密测试标定等多技术环节,是一项有难度的高新技术。本项目研究获得了国家技术发明二等奖,已经拥有8项授权发明专利,建立起了国际先进、国内一流的微加工及精密检测技术研发平台等。本项目总体技术达到国际先进水平,部分重要技术指标达到国际领先水平。